氣體被稱之為現(xiàn)代工業(yè)的血液,廣泛應用于半導體集成電路、光伏太陽能、航空航天、石油化工、金屬冶煉、船舶制造、食品、制冷、醫(yī)療等當今社會的各個領域,氣體產(chǎn)品的質量與下游產(chǎn)品息息相關,保證質量就是監(jiān)控雜質。目前,對于氣體產(chǎn)品中雜質采?。?
1)元素總量;
2)規(guī)定成分;
3)元素總量與規(guī)定成分同時限定的三種方式。
其中方式3)能更有效全面地控制有害成分,已被諸多國內外標準所采納,且隨著氣體產(chǎn)品應用對有害雜質限定的愈發(fā)嚴格,該種質量監(jiān)控方式將愈發(fā)普及。
本項目是以滿足氣體行業(yè)質量需求并減低控制成本為目的進行的實用測試技術研究與設備開發(fā)。研究工作在氣相色譜分析技術基礎上展開,利用檢測器的選擇性響應特性,通過創(chuàng)新的分析流程設計和物理化學反應的應用及關鍵技術問題的解決,在一臺設備上同時完成對氣體產(chǎn)品中特定元素(類型)痕量級雜質總量的測定和雜質組成成分解析。
技術指標:
1)氣體中有機物測定一體機,測定范圍:
總烴:50PPb-500PPm,分項檢測有機物:大于10 PPb。
2)氣體中痕量硫測定一體機,測定范圍:
總硫:5PPb-5PPm,分項檢測硫化物:大于10PPb。
總量與成分解析一體化的思路,為新一代高性能分析儀器的開發(fā)開辟了一條全新技術路線。該技術所形成的一體機設備也為利潤日趨理性的氣體產(chǎn)品的質量控制提供了一種高的投入產(chǎn)出比選擇。設備監(jiān)測范圍大、數(shù)據(jù)輸出及時、操作簡便、造價低廉,在氣體生產(chǎn)及應用領域有著廣闊的市場,對提高我國氣體產(chǎn)品整體質量水平起到積極的推進作用,具有明顯的社會效益。 該產(chǎn)品2012年開發(fā)成功并投放市場,僅2013年就實現(xiàn)了200多萬元的產(chǎn)值,取得了較好的經(jīng)濟效益。
趙敏、鄭國財、于國暉、宋慶明、常俠、單曉萍、邊魯寧、金煒、 孫志義、劉玉璿、劉健夫
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