| 項(xiàng)目名稱 |
| 一種多晶硅裝置的清洗方法 |
| 主要完成單位 |
| 北京藍(lán)星清洗有限公司 |
| 協(xié)作單位 |
| 主要完成人 |
| 焦永濤，王波，邢朝政 |
| 獎(jiǎng)勵(lì)名稱 |
| 專利獎(jiǎng) |
| 獎(jiǎng)勵(lì)等級(jí) |
| 優(yōu)秀獎(jiǎng) |
| 獎(jiǎng)勵(lì)年份 |
| 2018 |
| 專利號(hào) |
| ZL200810115557.4 |
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