| 項(xiàng)目名稱(chēng) |
| 一種清洗方法在多晶硅裝置上的應(yīng)用 |
| 主要完成單位 |
| 藍(lán)星環(huán)境工程有限公司 |
| 協(xié)作單位 |
| 主要完成人 |
| 焦永濤、王波、邢朝政、王曉琴 |
| 獎(jiǎng)勵(lì)名稱(chēng) |
| 科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng) |
| 獎(jiǎng)勵(lì)等級(jí) |
| 三等獎(jiǎng) |
| 獎(jiǎng)勵(lì)年份 |
| 2010 |
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