電弧放電真空涂層技術(shù),指在真空條件下,采用低電壓、大電流的電弧放電使靶材蒸發(fā)并發(fā)生電離,然后被蒸發(fā)物質(zhì)沉積在工件上,由此形成真空涂層。使用這種技術(shù)獲得的涂層具有高硬度、低摩擦系數(shù)、很好的耐磨性和化學(xué)穩(wěn)定性等特點,被廣泛地應(yīng)用在硬質(zhì)合金鉆頭,刀具和絲錐等等方面。但這種涂層工藝過程中,不僅會產(chǎn)生出離子和電子,同時產(chǎn)生出大量的熔化冷卻形成的顆粒,這些顆粒如果沉積在工件表面時不能和基體表面形成良好的結(jié)...
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