蜜桃午夜福利欧美黄色影片|av不卡在线观看|一级黄片免费看玖玖|国内在线观看第一区二区|免费亚洲无码成人影片|黄色片免费观看网站|夜夜看一区二区三区|黄片视频在线免费播放|一级真人毛片d视频|A级黄色电影院av瑟瑟

電子級(jí)六氟乙烷是超大規(guī)模集成電路所必需的介質(zhì)，對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展起著重要的作用，我國(guó)長(zhǎng)期來(lái)依賴進(jìn)口。電子級(jí)六氟乙烷作為芯片蝕刻劑，具有高蝕刻率及高精確性的優(yōu)點(diǎn)。作為清洗劑，具有排放性低、氣體利用率高、反應(yīng)室清潔率和設(shè)備產(chǎn)出率高等優(yōu)勢(shì)。目前主流的炭直接氟化法合成高純四氟化碳過(guò)程中，會(huì)產(chǎn)生大量的含有六氟乙烷的混合廢氣。國(guó)際上美國(guó)、日本等生產(chǎn)四氟化碳規(guī)模比較大的公司，都將含有六氟乙烷的混合氣體作為廢氣排空處理，既浪費(fèi)資源，又污染環(huán)境。
本研究以炭氟化法合成高純四氟化碳生產(chǎn)過(guò)程產(chǎn)生的含有六氟乙烷的混合尾氣為原料和研究對(duì)象，針對(duì)C2F6（含量約50%）混合尾氣含10多種雜質(zhì)氣體，且其中部分雜質(zhì)氣體與六氟乙烷沸點(diǎn)接近和互溶，加大分離提純難度的情況，福建德?tīng)柨萍加邢薰鹃_(kāi)展了“四氟化碳生產(chǎn)過(guò)程的工業(yè)廢氣回收提純電子級(jí)六氟乙烷關(guān)鍵技術(shù)研究”，在吸附劑、純化工藝、精餾裝備和控制系統(tǒng)方面取得重大突破，形成了多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)，經(jīng)系統(tǒng)集成形成了年處理225噸C2F6混合尾氣的工業(yè)化生產(chǎn)線，成功制備了純度≥99.9995%的電子級(jí)六氟乙烷，破解了直接利用工業(yè)廢氣生產(chǎn)電子級(jí)六氟乙烷的重點(diǎn)難點(diǎn)，填補(bǔ)了國(guó)際空白，實(shí)現(xiàn)了替代進(jìn)口和工業(yè)廢氣資源化利用與清潔生產(chǎn)，對(duì)解決“卡脖子”，推進(jìn)“碳中和”具有重大意義。項(xiàng)目獲授權(quán)發(fā)明專利2件，授權(quán)新型專利8件，計(jì)算機(jī)軟著2件。主要科技創(chuàng)新內(nèi)容如下：
1.發(fā)明了以四氟化碳生產(chǎn)過(guò)程產(chǎn)生的含有六氟乙烷的廢氣為原料，“熱分解、微氧吸附、二級(jí)精密過(guò)濾、深度平衡精餾”的純化工藝，制備了純度≥99.9995%的六氟乙烷。
2.發(fā)明了C-O-Si分子結(jié)構(gòu)的高聚能密度專用氟化物吸附劑，結(jié)合萃取精餾工藝，實(shí)現(xiàn)了六氟乙烷產(chǎn)品中CHF3及CClF3的含量均降低到0.05ppmv以下，成功破解了C2F6中CHF3、CClF3雜質(zhì)具有互溶特性的分離難題。
3.設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)的微氧組分裂解分離技術(shù)，通過(guò)微氧組分裂解設(shè)備，裂解NF3、N2F2-T、 N2F2-C等氟氮化合物雜質(zhì)，裂解組分經(jīng)堿液洗滌后，“微氧”組分含量控制在1ppmv以下，徹底解決了六氟乙烷的“微氧”組分分離難題，為六氟乙烷純度達(dá)到99.9995%以上奠定了技術(shù)基礎(chǔ)。
4.設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)的新型規(guī)整填料式深度平衡精餾塔，通過(guò)低沸塔和高沸塔的熱質(zhì)傳遞，深度去除氟碳、氟硫、氟碳?xì)涞雀叻悬c(diǎn)雜質(zhì)和氧、氮、氫、CO、CF4、CH4等輕組分雜質(zhì)，達(dá)到電子級(jí)六氟乙烷的純凈度。
5.設(shè)計(jì)了以神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)為基礎(chǔ)的跨流程單元的動(dòng)態(tài)互斥同步連鎖智能控制算法，通過(guò)與深度平衡精餾系統(tǒng)的有機(jī)結(jié)合，改善了控制系統(tǒng)對(duì)斜坡干擾和階躍干擾的動(dòng)態(tài)特性，增強(qiáng)了控制系統(tǒng)的抗干擾能力，實(shí)現(xiàn)了工藝回路的穩(wěn)定運(yùn)行。
經(jīng)第三方檢測(cè)，產(chǎn)品各項(xiàng)指標(biāo)優(yōu)于GB/T34091-2017《電子工業(yè)用氣體 六氟乙烷》國(guó)標(biāo)，符合Q/FJDR.005-2019《電子工業(yè)用氣體 六氟乙烷》企業(yè)內(nèi)控標(biāo)準(zhǔn)。在純凈度和回收率方面，產(chǎn)品具有很強(qiáng)的競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。經(jīng)同行專家評(píng)價(jià)，項(xiàng)目綜合技術(shù)達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平，其中部分技術(shù)居于國(guó)際領(lǐng)先水平。產(chǎn)品先后供應(yīng)芯恩（青島）集成電路有限公司和SK MATERIALS CO.,LTD等國(guó)內(nèi)外知名客戶，經(jīng)濟(jì)社會(huì)效益顯著。

1.李向如  2.李紀(jì)明  3.林百志  4.張 奎  5.李嘉磊  6.曾 熙  7.劉志強(qiáng)