2023年9月6日“可用于生產(chǎn)高純度多晶硅的高絕緣氮化硅材料關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用”經(jīng)專家組評估評審，項(xiàng)目整體技術(shù)達(dá)到國際領(lǐng)先水平。

會(huì)議邀請了來自中國科學(xué)院、中國科學(xué)院過程工程所、中華人民共和國工業(yè)和信息化部政策法規(guī)司、北京有色金屬研究總院超導(dǎo)中心、中國環(huán)境監(jiān)測總站、工信部中小企業(yè)協(xié)會(huì)新技術(shù)產(chǎn)業(yè)投資委員會(huì) 、中國化工集團(tuán)等專家領(lǐng)導(dǎo)組成評審委員會(huì)。經(jīng)過項(xiàng)目匯報(bào)與質(zhì)詢，專家組認(rèn)為項(xiàng)目針對多晶硅生產(chǎn)用氧化鋁絕緣件存在的力學(xué)性能低、抗熱震性能較差、高溫還原性氣氛下絕緣強(qiáng)度不夠、使用壽命短等不足，嚴(yán)重影響多晶硅生產(chǎn)效率和產(chǎn)品的品質(zhì)，開發(fā)出可替代氧化鋁材料的新型氮化硅特種材料制備技術(shù)及絕緣件制品，并獲得推廣應(yīng)用?！靖呖菩聞?chuàng)新聞中心宣】