為響應國家半導體產業(yè)鏈自主可控戰(zhàn)略部署，破解高端TMAH長期依賴進口的產業(yè)困局，信聯電子材料科技股份有限公司研發(fā)的“集成電路用四甲基氫氧化銨（TMAH）制備技術”取得重大突破，為我國14nm及以下先進制程提供關鍵材料支撐。
本成果以離子膜電解法為核心技術路線，構建了“電極優(yōu)化-膜系統匹配-多級純化”一體化技術體系。一方面開發(fā)表面電化學改性的合金涂層電極，有效解決傳統石墨電極腐蝕問題，提升電流效率與使用壽命；另一方面創(chuàng)新采用四室三膜電解槽結構，結合全氟磺酸-羧酸復合陽離子交換膜，實現(CH₃)₄N⁺的高效選擇性遷移，顯著抑制Na⁺、K⁺等雜質離子遷移。配套特種離子交換樹脂吸附與納濾-超濾集成純化工藝，形成多維度雜質控制能力。
成果性能指標達到國際先進水平：產品金屬離子總量≤0.1ppb，符合SEMIG4標準；濃度可調范圍2.38%-25%，偏差≤±0.003%；電流效率達70%-80%，優(yōu)于國內平均水平，且常溫儲存6個月無結晶分層，80℃加速老化無分解。
目前技術成熟度達Level 8，已實現批量供貨。產品通過京東方、華星光電等面板企業(yè)驗證，且在長鑫、長存等半導體廠商完成導入，武漢新芯、天津中芯國際等多家企業(yè)正推進驗證。相較于國外技術，本成果依托國內原料產能優(yōu)勢降低成本，聚焦電極改性、膜分離集成等關鍵環(huán)節(jié)構建自主專利布局，已在國內中高端市場實現突破，有力推動了我國濕電子化學品的國產化替代進程，為保障國家信息基礎設施安全提供了重要支撐。
1.孫煒 2.馮亞楠 3.賈成林 4.孔星 5.張雪冰 6.尹豐豐 7.劉穎娟 8.于文達 9.許光 10.趙鵬
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評價單位： |
中國電子節(jié)能技術協會 |
報告編號： |
中電節(jié)評字[2025]第CG029號 |
評價日期： |
2025-09-28 |
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組織單位： |
中國電子節(jié)能技術協會 |
項目負責： |
馮亞楠 |
成果管理： |
13383069500 |
1. 提供的資料基本齊全，符合評價要求。
2. 該項目的關鍵技術及主要創(chuàng)新點：
（1）首創(chuàng)采用合金涂層技術，在鈦基體形成致密保護層，達到解決石墨電極腐蝕問題、延長電極壽命至 18 個月、電流效率提升至 70%-80% 的效果。
（2）采用全氟磺酸型陽離子交換膜作為基礎膜材，并輔以羧酸膜層構成復合結構，既保障了 (CH₃)₄N⁺離子的高效遷移性能，又提升了離子透過選擇性，同時具備良好的耐強堿性能。
（3）采用納濾濃縮、超濾除微粒、樹脂吸附聯用的三級除雜體系純化技術，達到產品質量穩(wěn)定的效果。
（4）使用四室三膜電解槽構建梯度電場技術，達到將 Na⁺等雜質降至 0.1ppb 以下（G4 級）、適配 28nm 先進制程及以下制程的場景應用。
（5）采用精準調控技術，對溫度、電流密度等參數進行調控，達到濃度偏差≤±0.003% 的效果。
3. 該項目技術已獲得國家發(fā)明專利，具有自主知識產權，已具備良好產業(yè)化應用基礎。
4.評價委員會認為該項目技術達到國際先進水平，一致同意通過科技成果評價。
| 姓名 |
工作單位 |
職稱 |
從事專業(yè) |
| 黃利斌 |
工業(yè)和信息化部節(jié)能與綜合利用司 |
正高 | |
| 張序國 |
科技部火炬中心 |
正高 | |
| 任偉 |
工業(yè)和信息化部安全生產司 |
正高 | |
| 李建武 |
北京理工大學 |
正高 | |
| 何祚云 |
中國石化長城能源化工有限公司 |
正高 | |
| 屈耀明 |
中石化石油工程建設公司 |
正高 | |
| 劉源超 |
中國電子工業(yè)科學技術交流中心有限公司 |
副高 | |
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