1. 提供的資料基本齊全,符合評(píng)價(jià)要求。
2. 該項(xiàng)目的關(guān)鍵技術(shù)及主要?jiǎng)?chuàng)新點(diǎn):
(1)首創(chuàng)采用合金涂層技術(shù),在鈦基體形成致密保護(hù)層,達(dá)到解決石墨電極腐蝕問(wèn)題、延長(zhǎng)電極壽命至 18 個(gè)月、電流效率提升至 70%-80% 的效果。
(2)采用全氟磺酸型陽(yáng)離子交換膜作為基礎(chǔ)膜材,并輔以羧酸膜層構(gòu)成復(fù)合結(jié)構(gòu),既保障了 (CH?)?N?離子的高效遷移性能,又提升了離子透過(guò)選擇性,同時(shí)具備良好的耐強(qiáng)堿性能。
(3)采用納濾濃縮、超濾除微粒、樹脂吸附聯(lián)用的三級(jí)除雜體系純化技術(shù),達(dá)到產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定的效果。
(4)使用四室三膜電解槽構(gòu)建梯度電場(chǎng)技術(shù),達(dá)到將 Na?等雜質(zhì)降至 0.1ppb 以下(G4 級(jí))、適配
28nm 先進(jìn)制程及以下制程的場(chǎng)景應(yīng)用。
(5)采用精準(zhǔn)調(diào)控技術(shù),對(duì)溫度、電流密度等參數(shù)進(jìn)行調(diào)控,達(dá)到濃度偏差≤±0.003% 的效果。
3. 該項(xiàng)目技術(shù)已獲得國(guó)家發(fā)明專利,具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán),已具備良好產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用基礎(chǔ)。
4.評(píng)價(jià)委員會(huì)認(rèn)為該項(xiàng)目技術(shù)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平,一致同意通過(guò)科技成果評(píng)價(jià)。
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