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“基于集成電路用四甲基氫氧化銨(TMAH)制備技術(shù)”通過(guò)科技成果鑒定

信息來(lái)源:中國(guó)電子節(jié)能技術(shù)協(xié)會(huì)      發(fā)布時(shí)間:2025-10-11

  2025年月928日,中國(guó)電子節(jié)能技術(shù)協(xié)會(huì)聯(lián)合工業(yè)和信息化部國(guó)際經(jīng)濟(jì)技術(shù)合作中心在工信部萬(wàn)壽路機(jī)關(guān)組織召開了由信聯(lián)電子材料科技股份有限公司研發(fā)的“基于集成電路用四甲基氫氧化銨(TMAH)制備技術(shù)”科技成果評(píng)價(jià)會(huì)。評(píng)價(jià)專家委員會(huì)由工業(yè)和信息化部節(jié)能與綜合利用司原司長(zhǎng)黃利斌、科技部火炬中心原黨委書記張序國(guó)、工業(yè)和信息化部安全生產(chǎn)司原二級(jí)巡視員任偉、北京理工大學(xué)正高級(jí)工程師李建武、中國(guó)石化長(zhǎng)城能源化工有限公司原副總經(jīng)理何祚云、中石化石油工程建設(shè)公司審計(jì)處處長(zhǎng)屈耀明、中國(guó)電子工業(yè)科學(xué)技術(shù)交流中心有限公司總經(jīng)理劉源超組成。評(píng)價(jià)委員會(huì)聽取了項(xiàng)目完成單位的技術(shù)總結(jié)報(bào)告,審查了相關(guān)資料,經(jīng)質(zhì)詢和討論形成意見如下:

1. 提供的資料基本齊全,符合評(píng)價(jià)要求。

2. 該項(xiàng)目的關(guān)鍵技術(shù)及主要?jiǎng)?chuàng)新點(diǎn):

1)首創(chuàng)采用合金涂層技術(shù),在鈦基體形成致密保護(hù)層,達(dá)到解決石墨電極腐蝕問(wèn)題、延長(zhǎng)電極壽命至 18 個(gè)月、電流效率提升至 70%-80% 的效果。

2)采用全氟磺酸型陽(yáng)離子交換膜作為基礎(chǔ)膜材,并輔以羧酸膜層構(gòu)成復(fù)合結(jié)構(gòu),既保障了 (CH?)?N?離子的高效遷移性能,又提升了離子透過(guò)選擇性,同時(shí)具備良好的耐強(qiáng)堿性能。

3)采用納濾濃縮、超濾除微粒、樹脂吸附聯(lián)用的三級(jí)除雜體系純化技術(shù),達(dá)到產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定的效果。

4)使用四室三膜電解槽構(gòu)建梯度電場(chǎng)技術(shù),達(dá)到將 Na?等雜質(zhì)降至 0.1ppb 以下(G4 級(jí))、適配 28nm 先進(jìn)制程及以下制程的場(chǎng)景應(yīng)用。

5)采用精準(zhǔn)調(diào)控技術(shù),對(duì)溫度、電流密度等參數(shù)進(jìn)行調(diào)控,達(dá)到濃度偏差≤±0.003% 的效果。

3. 該項(xiàng)目技術(shù)已獲得國(guó)家發(fā)明專利,具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán),已具備良好產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用基礎(chǔ)。

4.評(píng)價(jià)委員會(huì)認(rèn)為該項(xiàng)目技術(shù)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平,一致同意通過(guò)科技成果評(píng)價(jià)。

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